工業用臭氧發生器多采用電暈阻擋放電方式，類似于打雷時高壓電離空氣中的氧氣形成臭氧，因此，臭氧發生器的使用過程是離不開空氣或氧氣來作為氣源的，氣源所含氧氣濃度的差異會對臭氧發生器的出氣臭氧濃度、產量等指標產生極大的影響。通常，臭氧發生器的氣源系統分為三類：空氣源、現場制氧、純氧源。三種氣源介紹如下：
首先是空氣源：眾所周知，空氣中氧氣含量約為21%，其余多為氮氣；空氣源臭氧發生器的氣源系統由空氣壓縮機、精密過濾器、冷凍式干燥機、吸附式干燥機構成。由于氣源系統只對空氣進行除油、出水、除塵等步驟，因此經過氣源系統處理后的氧氣濃度與空氣無異。空氣源臭氧發生器（系統）臭氧濃度約為15-30mg/L，每產生1公斤的臭氧（以匯威環保臭氧發生器為例），整套系統耗電約為22KW。
現場制氧：現場制氧是在壓縮空氣后添加制氧機方式，其整體系統如下：空氣壓縮機、精密過濾器、冷凍式干燥機、吸附式干燥機、制氧機；工業制氧機處理后的氧氣濃度約為90%-93%，大大提高了氣源氧氣濃度，采用現場制氧供氣后臭氧發生器的出氣濃度約為100-120mg/l，每產生1公斤的臭氧，臭氧發生器.耗電約為8-9度，整套系統耗電約為17KW。
純氧源：所謂純氧源通常是指采用臭氧發生器的進氣直接接入氧氣罐，工業液氧罐氧氣純度99%以上，且氧氣的露點、碳氫物、粉塵、含油量等指標是完全符合臭氧發生器對氣源的要求的，純氧源臭氧發生器出氣濃度可高達150mg/l，產生1公斤的臭氧耗電量約為7-8度（以匯威環保臭氧發生器為例）。
比較以上三種氣源方式，以空氣作為氣源，臭氧發生器出氣濃度低、耗能大，臭氧發生器體積、功率較大，但是出氣量大，整套系統比現場制氧簡單，在一些對臭氧濃度不高的污水處理及廢氣處理領域是比較適合的?，F場制氧作為氣源時，臭氧發生器濃度高，耗電量一般，運行成本比空氣源低、臭氧發生器的功率小，但是氣源系統復雜、功率大、出氣量小，適用于各種污水處理、深度水處理、廢氣治理等，純氧源即液氧源臭氧發生器濃度最高、耗電量最低，但是需要建或租用氧氣站，氧氣罐由于是壓力容器存在一定的安全隱患，需定時送氣，需年檢，使用起來比較麻煩，中小產量臭氧發生器不太適用，通常只能用作大型臭氧發生系統或對臭氧濃度有極高要求的領域。
